通常的表面处理方法很难将杂质从复杂结构部件的细缝、低坑等死角处清理出来,因为液体在那里的流速实际上等于零,但是超声波对解决这个问题很有帮助。超声渡的原理是由高频发生器与换能器将电磁振动能转变为机械振动能,当清洗时超声波传给清洗剂,清洗剂以同样的频率进行高频振动,于是在被清洗物的表面产生很大的机械冲刷力将杂质油污撕掉或冲击出来,因此,使清洗速度和效率大大加快,同时清洗效果也是很理想。但是,这种方法比较适用于小型的复杂部件。用超声波脱脂时,可以依次使用不同溶剂,这主要与被清洗的污物种类有关。比较典型的处理次序为:清洁剂溶液一水—醇—烘干,然后再经三氯乙烯一醇一烘干。